晶圓鍵合技術及其應用 李天錫 林澤勝 彭成鑑 呂冠良 潘信宏 工業材料研究所 工業技術研究院 新竹 台灣 晶圓鍵合技術 (Wafer Bonding Technology) 是利用兩片表面具平滑鏡面、平坦,可互為相同或相異材質、單晶或是多晶形態之晶圓材料的表面原子間之鍵合力 ...
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