維持無塵室的清潔--ISO 14644-5 - 《半導體科技．先進封裝與測試》雜誌

本刊前幾期曾討論一些 無塵室的ISO標準，此次主要探討 ISO 14644-5中的「 無塵室運轉」要領。 ... 記著，建築物在結構完成後， 無塵室的工程就此開始，而此後的所有細部的工作程序， ISO 14644-...

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