簡介 - 國立成功大學

PECVD重要模組. ➢ 三大模組簡介. ➢ 真空模組-蝴蝶閥失效模式分析. ▫. Baseline預測保養(BPM)架構實現-以真空模組蝴蝶閥為例. ▫. 剩餘壽命討論(PdM機制). ▫ ... Baseline Error Index, (BEI)：表達目前設備實際值與健康基底差異指標。 ➢. Individual ...

www.ncku.edu.tw