第四章 前瞻奈米鍍膜應用綜論

2 表4-1 奈米功能性鍍膜的種類及應用 性 薄膜名稱 材料 晶粒尺寸/ 膜厚 應用 寬帶隙薄膜 鑽石、c-BN、DLC、AlN、SiC 非晶態-微 米晶 場發射元件 鐵電薄膜 BaTiO3、Pb(Zr,Ti)O3、SrTiO3、(Ba,Sr)TiO3、(Pb,La)(Zr,Ti)O3、ZnO、AlN、

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