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第三章 半導體製程的技術史

本世代的製程包括使用爐管的熱處理、去除污染、蝕刻、電鍍等等。 ◇ 在1950年代末 急速 ... 因此,製程技術亦從以往的Ge加工技術,變為Si加工技術,變遷到IC時代。

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