第三章 半導體製程的技術史 - 中州科技大學Chung Chou ...

LOCOS製程流程 VLSI時代 (1980年代) 1980年代，隨著DRAM的量產及高密度化的進展，DRAM在半導體產業內是技術的驅動力。 本時期的最小圖案尺寸為1μm，隨著步進機的 ...

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