科學園區半導體產業廢水處理方法簡介 - 漸漸的找出文字的行列~儀器設備藥劑耗材~廢水處理~~歡迎來電詢問 ...

本文將就半導體業的無機廢水處理做一概述，包括含氟酸廢液之製程廢水、電鍍銅製程之廢液及化學機械研磨液等之處理方式及理念。 ... 圖1 廢水處理流程示意簡圖 1.含氟酸廢液之製程廢水 製程使用後之氫氟酸，經管路排放至廢水處理廠時 ...

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