磁控濺渡氮氧化矽薄膜材料之機械性質檢測與分析及其在微 ...

氮氧化矽(SiOxNy)是由氧化矽(SiO2)及氮化矽(Si3N4)以不同比例混合而成的複合 ... 在彈性模數與硬度方面，熱退火溫度增加此兩性質會變大；在熱退火處理溫度 ...

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