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矽薄膜光伏技術 - NexPower Technology Corp.
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矽薄膜光伏技術 - NexPower Technology Corp.
氫化非晶矽在薄膜太陽能電池中是發展最為完整的材料。 ... 製造矽薄膜太陽能電池的關鍵製程機台為電漿輔助化學氣相沉積(PECVD),利用PECVD在TCO(透明導電 ...
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