矽微加工技術 - 南台科技大學知識分享平台: EshareInfo

微機電概論 C-K Liang 何謂體型矽微加工技術？體型矽微加工技術，就是把矽晶片等材料當成一塊加工母 材，來作蝕刻切削的加工技術。常用的材料為矽晶片及玻 璃，利用這些材料製成零件後，可因零件之加工處理，如摻

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