真空蒸发法_搜索_互动百科

真空蒸发工艺是将固体材料置于高真空环境中加热，使之升华或蒸发并淀积在特定的 衬底上，以获得薄膜的工艺方法。真空蒸发工艺在微电子技术中主要用于制作有源 ...

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