真空的定義及單位

「乾式真空泵浦」 乾式真空泵依機械結構不同可分為魯式(Roots)、爪式(Claw)、螺旋式(Screw)、渦卷式(Scroll)以及薄膜式(Diaphragm)幾種。其中魯式泵浦在真空系統中廣泛用作助力泵浦(Booster Pump)，可適度提高真空系統的抽氣效率。

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