真空狀態的達成：各種抽氣技術的介紹 - 俊尚科技股份有限公司

按照排氣方式的不同，如同下圖，真空幫浦可大致分為幾類： ... 常聽到的機械幫浦、 窩卷幫浦、分子渦輪幫浦、擴散幫浦等等，這些不同幫浦的抽氣原理將在後面介紹。 .... 從結構上來看，冷凍幫浦有兩大主要構造：一是冷凍壓縮機，目的是要壓縮高純度 氦 ...

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