真空技術

撞濺離子幫浦（Sputtering ion pump） 撞濺離子幫浦之工作原理： (1)真空高壓放電產生高速電子。 (2)電子向陽極運動時受磁場磁力影響作螺旋 運動而折返陰極，但又受陰極之斥力而往 返於正負兩極間振盪。 此作用增加電子與 氣體分子的碰撞機會，產生更多 ...

ri.search.yahoo.com