真空技術發展 - 國研院儀科中心

... ，以支援產業及學術界所需薄膜製程與設備；在功能性薄膜技術方面，預期將往大面積、高能輔助與可撓式基板連續式製程系統之方向發展，將可應用於光學、軟性電子與薄膜太陽能電池等產業技術研發。 ...

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