真空技術報告 Turbo Pump - 南台科技大學知識分享平台: EshareInfo

真空技術報告 Turbomolecular pump (渦輪分子幫浦) 指導老師:吳文端 老師 班級 : 碩研光電一甲 組員 : 陳建翔 MA0L0201 林苔伊 MA0L0220 Turbo Pump抽氣原理 分子流與黏滯流 性能參數 工作範圍可從大氣壓力一直到超高真空，但因為渦輪分子幫浦在大氣壓力之下 ...

eshare.stust.edu.tw