真空幫浦國立台北科技大學真空及超低溫技術研究室鄭鴻斌 ...

此類幫浦的抽氣原理為，被抽除的氣體從進氣口進入幫浦內部後. 被隔絕起來，經過 週期性的壓縮及傳送 .... 膜片幫浦(diaphragm pump)的構造示意圖如圖3.7 所示， 主要機. 構為馬達驅動的活塞造成彈性膜片的 ...

www.erac.ntut.edu.tw