真空常用數據及單位換算-北京匯德信科技有限公司

1.1 真空區域劃分 真空區域 壓強範圍 托(Torr) 帕 (Pa) 低真空 760~10 101325～1333 中真空 10~10-3 1333～1.33×10-1 高真空 10-3 ~10-8 1.33×10-1 ～10-6 超高真空 10-8 ~10-12 10-6 ～10-10 極高真空 ＜10-12 ＜10-10 1.2 流速與漏率 ...

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