發光二極體之製程技術 - 電子工程系

熱阻式蒸鍍技術(thermal). ▫ 適合低溶點的金屬，如鋁. (Al)、金(Au) 、鎳(Ni)等. ▫ 系統圖如右所示。 ▫ 製程說明: 在製程期間，系. 統被抽真空到約10-6 Torr. 的高真空  ...

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