產業潔淨室驗証之量測儀器探討

料，因此在結合儀器操作原理 與使用方法後，將有助於對潔淨室進行驗証測試工作之進行。 二、潔淨室驗証量測之儀器 ... 為亂流之強度），超音波風速計 可在任一點位 置測得紊流強度的標準偏差百分比Tu%，並可印 證區間、風管或格柵的任一點氣流 ...

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