生醫微奈米感測器及致動器晶片 - 台大電機系

本文將介紹以微機電系統（MEMS）之晶片製作技術用於研發微奈米感測器 .... 先簡單介紹其神經探頭的設計架構，接著在後幾段將說明其不同製作方式及其優缺點。

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