環形旋塗流動不穩定

本研究探討旋轉塗佈 製程的中心塗佈與環形塗佈 過程中產生不穩定手指狀流現象。觀察旋轉塗佈過程 ... 轉，與 注液系統的配合來完成，此時由於晶圓轉速僅 20 rpm，因此離心力引響不大，且旋轉速度與注液量 ...

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