環境掃描式電子顯微鏡（ESEM），是一種配上場效型燈絲，試件艙可控制在較低壓力環境下運作的SEM，同時加裝能量分散光譜儀 (EDS)，可做微區元素定性及半定量分析、元素分佈分析等功能。 ...
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