環境掃描式電子顯微鏡

環境掃描式電子顯微鏡（ESEM），是一種配上場效型燈絲，能控制試件艙之真空度從高真空到接近大氣壓變化，試件艙可在極低氣壓環境下運作的SEM，加裝能量分散式光譜儀 (EDS)，可做微區元素定性及半定量分析、元素分佈等分析功能。

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