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圖1 A廠區二次廢液含水分及固形物百分比示意圖 四、廢光阻劑及廢去光阻劑組成分析 本文採取A廠之廢光阻劑、廢去光阻劑、及廢NMP，進行組成份分析，樣品含水率如表3所示。其中廢去光阻劑-D之含水率高達31.06%，廢NMP-E之含水率達22.69%。

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