特殊氣體供應系統的規劃與設計 (下) - 《半導體科技．先進封裝與測試》雜誌

"(文承SST-T 20，頁70-75) 吳志平/工研院電子所 #P#氣瓶櫃/架的型式 氣瓶櫃/架一般針對不同的氣體特性分為五種基本型式，其中Type II和III屬於較低蒸氣壓的氣體，Type IV和V則屬惰性氣體使用的氣瓶架，各型式使用的氣體類別、種類與相關的功能分述如下：

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