物理蒸鍍之種類依蒸發源分類

2005年4月6日 ... 金屬工業研究發展中心. 1. 物理蒸鍍之種類. 熱蒸著. 磁控濺射. 陰極電弧. 電子槍. 中空陰極 ... 真空蒸著(Evaporation). ▫ 磁控濺射(Magnetic .... 電子槍離子鍍原理. ▫ 利用電子槍作為蒸發材料 ...

www2.nkfust.edu.tw