物性分析實驗室 - 臺灣科技大學-材料科學與工程系

四點探針薄膜電阻量測儀 Four Point Sheet Resistance Meter 一、測試原理： 運用四點探針測量原理的多用途綜合測量裝置，它可以測量片狀、塊狀半導體材料的徑 向和軸向電阻率，測量擴散層的薄層電阻亦稱片電阻。

mse.ntust.edu.tw