無塵室風機-濾網機組的測試 - 《半導體科技．先進封裝與測試》雜誌

"鄭名山 / 工研院能資所 所謂風機-濾網機組(Fan-filter Unit，FFU)，是安裝在無塵室天花板上或機台上方，提供無塵室與機台所需的氣流循環與空氣過濾。由於使用的簡便 ...

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