無塵室潔淨度之測試程序與確效作業探討

一、前言 隨著高科技電子相關產業之蓬勃發展，無塵 室(Cleanroom)已成為半導體製程工業、精密切 削、生化科技、醫療及食品工業等不可或缺之重 要空調設施。無塵室也應此更加提升其潔淨等 級，由美國聯邦法規規範逐年的更新，可知科技

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