無塵室定義:

ISO : 標準是大於等於0.5um的塵埃顆粒在1立方公尺內之數目來定義無塵室之等級. 無塵室基本要求 ... Class 100～10,000無塵室最終過濾網. HEPA. ≧0.3. ≦0.3.

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