無塵室定義:

英制 : 1立方英呎空間內的空氣中含有大於等於0.5um的灰塵顆粒數目. ISO : 標準是大於等於0.5um的塵埃顆粒在1立方公尺內之數目來定義無塵室之等級. 無塵室基本 ...

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