無塵室可區分為多少等級常見問答集-耀群科技股份有限公司-主要專業於各項自動控制系統與各式廠務製程系統 ...

無塵室等級是參考美規209E，它所管制的項目包括：落塵量、溫度、溼度、靜壓及照明度……等等，而所謂的等級之分是依據落塵量的最大設計值來做基準，比如說10級無塵室（Class 10 Clean Room）它的最大落塵量為每1立方英呎大於0.5μm粒徑的particle不得超過 ...

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