無塵室依等級的不同而在氣流設計上會有所區別,一般可分為垂直層流方式(Class 1 ~100)、水平層流方式(Class 1~1,000)、亂流方式(Class 1,000~100,000),其詳細區分如下表:. 垂直層流無塵 ...
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