無塵室之測試與監控

無塵室測試之原則 (Principles of Cleanroom Testing) 供應足夠的風量（air quantity） 氣流移動應從較清淨區域流向清淨等級 較差的區域 供應空氣品質（air quality）需不會明顯 地增加無塵室廠房內的污染 氣流移動時，應確定此區域內無高濃度

www.rac.ncut.edu.tw