無塵室 潔淨室 清淨室 Clean Room﹝C R﹞

無塵室空調設計 • 無塵室空調特性 微塵粒子（依等級要求） • 溫度（22~23 DB），溼度（40~45﹪RH） • 恆溫恆溼控制要求（±0.1 ，±2﹪） • 全外氣與高換氣次數（化學藥品、氣體、揮發溶 • 劑…）

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