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灰階光罩於微型光學元件之應用

的同時根據所欲製作的微光學元件之表面輪廓做光強度的調變使得曝光能量具. 有隨 位置不同的灰階度變化,在經過顯影蝕刻的製程後,具有連續表面的微光學. 元件便 ...

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