濺鍍玻璃薄膜用於矽晶片陽極接合之研究__國立清華大學博 ...

陽極接合技術是微機電技術中一項相當重要的製程技術。本論文即對此技術做較深入的研究。在研究中，我們探討了濺鍍及陽極接合技術的基本原理，並以穩健設計的 ...

140.113.39.130