濺鍍原理

濺鍍原理 2009-01-26 更新 濺鍍原理 在高溫被離子化的氣體極稱為電漿(plasma)。基本上電漿是由部 份解離的氣體及等量的帶正、負電荷粒子所組成，其中所含的氣體具備高度的活性，通常是利用外加電場的驅動而形成，並且會產生輝光 放電(Glow Discharge)的 ...

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