濕式蝕刻製程提高LED光萃取效率之產能與良率- LEDinside

2010年9月9日 ... C. 利用SiO2當作蝕刻遮罩層，在溫度280℃的高溫磷酸與硫酸混合液中蝕刻藍寶石 基板，以形成圖案化 ...

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