濕式蝕刻製程提高LED光萃取效率之產能與良率- LEDinside

2010年9月9日 - 有關藍寶石基板之濕式化學蝕刻圖形化，以及LED之前段製程流程，說明如下： A. 首先利用黃光微影製程在藍寶石基板上製作出所需的圖案。

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