濕式蝕刻製程提高LED光萃取效率之產能與良率 - LEDinside

4、 高溫磷酸濕式蝕刻製程 設備在製作上，必須考慮的設計項目 圖12為弘塑科技(Grand Plastic Technology Corporation; GPTC)所製作之全自動化高溫磷酸濕式蝕刻製程設備，由於磷酸濕式蝕刻製程設備是在280~300 高溫下進行，所以必須考慮加熱方式，昇降 ...

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