準分子雷射名稱中的準分子 ”eximer”為excited的前半部與dimer的後半部組合而成的

... 雷射輸出，因為它的增益非常之大，但是為了提高光束品質，往往也使用共振腔，它的前反射鏡使用平面鋁反射鏡，而輸出鏡使用CaF2標準具式的平板(不鍍任何反射膜) ...

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