渦輪分子幫浦被動式磁浮軸承系統之分析與性能提升__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

摘要本文針對半導體製程設備中的渦輪分子真空幫浦之 磁浮軸承系統來進行研究，本系統所使用的 軸承系統為 被動式 ...

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