清洗技術. ◇ 半導體元件的製造上，清洗的目的是為了去除基板表面的各種污染。 ◇ 製造製程中， ... SiO2 氧化矽、氧化鋁、氧化鈰等 ... Si-SiO2界面不穩定化. 鹼金屬.
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