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淺溝渠隔離(STI)的應力及窄通道效應模型 - 半導體科技

應力造成分佈鄰近效應(Layout proximity effects)源自於元件尺寸比例及佈線製程 ... 在LOD模型之後,一些新的模型正在開發以更全面及正確的計算出佈線鄰近效應。

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