流量单位中SCCM是什么- Etching&Clean - 半导体技术天地芯片,集成电路 ...

另一說法,SCCM 是質流單位(Mass flow),與一般常用的流量單位是不同的,常見的 ... 气体流量单位：SCCM＝standard cubic centimeter per minute.

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