氯氣氣瓶櫃洩漏危害分析 - 經濟部工業局工業安全衛生技術 ...

氯氣氣體的使用在半導體製程中一直扮演著重要的角色，特別是半導體製程目前已被廣泛的應用於. 各項產業，凡舉 ... 或特殊氣體具有易燃性、毒性及腐蝕性等本質危害. 之特性，故廠房 ... 氣瓶櫃本體設備設計方向在於創造一個安全的工作. 環境、並以 ...

www.cesh.twmail.org