氮化矽、氮氧化矽、二氧化矽 | Sillitronics

氮化矽是一種介電常數較高（約為 7 左右）、硬度強、緻密的介電材料。 氮化矽的研磨速率比二氧化矽的研磨速率低，因此在淺溝槽絕緣形成的製程中，也被當作化學機械研磨的停止層。 氮氧化矽是一種新型的薄膜材料，具有優良的光電性能 ...

sillitronics.wordpress.com