”氫氧化四甲基銨”管制 所新增「污水下水道使用費」 估算及建議因應對策

hydroxide ）,TMAH 在半導體及TFT-LCD 製程 中，經常被利用作為顯影液，用以除去曝光後 不需要的光阻劑，其物化相關特性如表 所示 ... 的污染，於民國9 年3月2日南部科學工業園區管理局 南環字第 0 9 號令第二次公告修正之「南部科學工業園區台南園 區 暨 ...

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